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Sachbegriffe
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Sachbegriff CVD-Verfahren
Quelle B 1986
Synonyme Chemical vapor deposition
Chemische Dampfablagerung
CVD
Chemische Gasphasenabscheidung
Oberbegriffe Aufdampfen
Thematischer Bezug Verwandter Begriff: Gasphasenepitaxie
DDC-Notation 671.735
Systematik 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.8a Fertigungstechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Chemical vapor deposition
RAMEAU: Dépôt chimique en phase vapeur
Untergeordnet 11 Datensätze
  1. APCVD-Verfahren
    CVD-Verfahren
  2. Atomlagenabscheidung
    CVD-Verfahren
  3. ...
Thema in 386 Publikationen
  1. Kinetic and thermodynamic stabilization of interfaces in electric devices and batteries
    Wortelkamp, Fritz. - Freiburg : Universität, 2025
  2. Stickstoffdotierte Diamant-Dünnschichten für das Quantencomputing
    Schätzle, Philip. - Freiburg : Universität, 2025
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 73 Publikationen
  1. Functional superstructures with supramolecular nanofibers prepared by physical vapor deposition
    Schröder, Dennis. - Bayreuth : Universität Bayreuth, 2025
  2. Influence of a remote plasma source on the chemical vapour depositon of ZrO\(_2\)-based layers
    Maaß, Philipp A.. - Bochum : Ruhr-Universität Bochum, 2025
  3. ...





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