Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. Die Ausstellungen des Deutschen Exilarchivs 1933-1945 sind von 9 bis 21:30 Uhr geöffnet. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00. The exhibitions of the German Exile Archive 1933–1945 will be open from 9:00 to 21:30.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Integration von piezoelektrischen Dünnschichten in einen MEMS-kompatiblen Prozessablauf auf Waferebene / Harald Jacobsen
Person(en) Jacobsen, Harald (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format VI, 107 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Jacobsen, Harald: Integration von piezoelektrischen Dünnschichten in einen MEMS-kompatiblen Prozessablauf auf Waferebene
Hochschulschrift Kiel, Univ., Diss., 2007
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
DDC-Notation 621.38154 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2007 B 23618
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2007 B 27013
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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