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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4824724-8
Sachbegriff MEMS
Quelle Thes. Technik
Synonyme Mikroelektromechanisches System
Microelectromechanical systems
Oberbegriffe Mikrosystemtechnik
Elektromechanisches Bauelement
DDC-Notation 621.3815
621
621.381
Systematik 31.8b Feinwerktechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Microelectromechanical systems
RAMEAU: Systèmes microélectromécaniques
Untergeordnet 1 Datensatz
  1. Bio-MEMS
    MEMS
Thema in 364 Publikationen
  1. Entwicklung eines Ionenmobilitätsspektrometrie-Systems mit miniaturisierter Thermodesorption und nicht-radioaktiver Ionenquelle zur Detektion von Keimen in Lebensmitteln
    Fechner, Annika. - Duisburg : Universität Duisburg-Essen, 2026
  2. AlGaN/GaN-based pressure sensors for application in harsh environments
    Moser, Matthias. - Düren : Shaker Verlag, 2025
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 237 Publikationen
  1. #Filmkultur
    Marburg : Schüren Verlag, 2026, 1. Auflage
  2. High temperature pressure sensor assembly and packaging for application up to 500 °C
    Subbiah, Nilavazhagan. - Freiburg : Universität, 2026
  3. ...





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