Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/121446534X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Methoden zur Analyse parasitärer, elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen / Axel Hald |
| Person(en) | Hald, Axel (Verfasser) |
| Ausgabe | Als Manuskript gedruckt |
| Verlag | Düsseldorf : VDI Verlag GmbH |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2020] |
| Umfang/Format | VIII, 152 Seiten : Illustrationen ; 21 cm |
| Abweichende Titel | Abweichender Titel auf dem Buchrücken: Elektrostatik-Analyse von mikroelektromechanischen Systemen |
| Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Dresden |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-18-347320-5 Broschur |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / Reihe 20, Rechnerunterstützte Verfahren ; Nr. 473 |
| Schlagwörter | MEMS ; Kapazitiver Sensor ; Beschleunigungssensor ; Drehratensensor ; Schaltungsentwurf ; Elektrostatik ; Parasitäres Element <Mikroelektronik> ; Prozesssimulation ; Ersatzschaltbild ; Mustererkennung |
| DDC-Notation | 621.38150155372 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2020 A 43118
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2020 A 75715
Bereitstellung in Leipzig |
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