Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/983516103 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchungen zum Dünnen und Vereinzeln dünner Silizium-Wafer / von Gerald Günzel |
| Person(en) | Günzel, Gerald (Verfasser) |
| Verlag | Tönning ; Lübeck ; Marburg : Der Andere Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | XVII, 134 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2007 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-89959-580-2 kart. : EUR 23.90 3-89959-580-7 kart. : EUR 23.90 |
| EAN | 9783899595802 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Siliciumbauelement ; Dünne Schicht ; Wafer ; Elektropolieren ; Trennschleifen |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2007 A 58362
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2007 A 64285
Bereitstellung in Leipzig |
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