Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1214302505 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Preparation and characterization of Carbon Nanotube based vertical interconnections for integrated circuits : Preparation and characterization of Carbon Nanotube based verticalinterconnections for integrated circuits / Holger Fiedler ; Gutachter: Thomas Geßner, Michael Hietschold ; Stefan E. Schulz, Thomas Geßner |
| Person(en) |
Fiedler, Holger (Verfasser) Schulz, Stefan E. (Akademischer Betreuer) Geßner, Thomas (Akademischer Betreuer) Geßner, Thomas (Gutachter) Hietschold, Michael (Gutachter) |
| Verlag | Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz - Chemnitz : Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als: ISBN: 978-3-944640-23-5 |
| Hochschulschrift | Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2014 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-149474 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | ULSI ; Integration <Mikroelektronik> ; Kohlenstoff-Nanoröhre ; Durchkontaktieren ; Metallisieren ; Kontaktwiderstand ; Elektrische Eigenschaft ; CVD-Verfahren |
| DDC-Notation | 621.381531 [DDC22ger]; 621.395 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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