Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten Die Lesesäle für Geisteswissenschaften, Naturwissenschaften, der Alte Lesesaal Technik und der Anne-Frank-Shoah-Lesesaal in Leipzig schließen am 04.02.2026 wegen einer Veranstaltung bereits um 15 Uhr. Die weiteren Lesesäle sowie die Servicetheke sind zu den regulären Zeiten geöffnet. //
The humanities reading room, the natural science reading room, the old technology reading room and the reading room of the Anne-Frank-Shoah-Library will close at 15:00 on 4 February 2026 due to an event. The other reading rooms and the service desk will be open during regular hours.
 
 

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Sachbegriffe
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Sachbegriff Laser-CVD-Verfahren
Quelle Lex. Elektronik Mikroelektronik unter Schichtabscheidung
Synonyme Laserinduziertes CVD-Verfahren
LICVD-Verfahren
Oberbegriffe CVD-Verfahren
Lasergenerieren
DDC-Notation 671.735
Systematik 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik ; 31.8a Fertigungstechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Thema in 9 Publikationen
  1. Modelling of Microfabrication Systems
    Nassar, Raja. - Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg, 2003
  2. Modelling of microfabrication systems
    Nassar, Raja. - Berlin : Springer, 2003
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