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Bücher
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/982725302
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Integration of ferroelectric thin films into silicon based microsystems / vorgelegt von Carsten Kügeler
Person(en) Kügeler, Carsten (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format X, 140 S. : Ill., graph. Darst. ; 20 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Kügeler, Carsten: Integration of ferroelectric thin films into silicon based microsystems
Hochschulschrift Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006 (Nicht für den Austausch)
Sprache(n) Englisch (eng)
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2007 A 7875
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2007 A 9857
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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