Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=671*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/gnd/4314628-4 |
| Sachbegriff | MOCVD-Verfahren |
| Quelle | Lex. Elektronik Mikroelektronik unter Schichtabscheidung |
| Synonyme |
Metallorganic CVD Metal organic CVD MOVPE OMCVD |
| Oberbegriffe | CVD-Verfahren |
| DDC-Notation | 671.735 |
| Systematik | 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik ; 31.8a Fertigungstechnik |
| Typ | Allgemeinbegriff (saz) |
| Andere Normdaten |
LCSH: Metal organic chemical vapor deposition RAMEAU: Dépôt en phase vapeur par organométalliques |
| Thema in |
255 Publikationen
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| Maschinell verknüpft mit |
61 Publikationen
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