Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/976412926 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Modellierung und Simulation orientierungsabhängiger Ätzprozesse in Silizium / Anton Horn |
| Person(en) | Horn, Anton (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2005 |
| Umfang/Format | VIII, 180 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Horn, Anton: Modellierung und Simulation orientierungsabhängiger Ätzprozesse in Silizium |
| Hochschulschrift | München, Techn. Univ., Diss., 2005 |
| DDC-Notation | 621.381531 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2005 B 33068 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2005 B 28742 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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