Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1213814642 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses / Marco Haubold ; Gutachter: Thomas Geßner, Erwin Hochmair ; Betreuer: Thomas Geßner |
| Person(en) |
Haubold, Marco (Verfasser) Geßner, Thomas (Akademischer Betreuer) Geßner, Thomas (Gutachter) Hochmair, Erwin (Gutachter) |
| Verlag | Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz - Chemnitz : Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2016 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als: ISBN: 978-3-944640-75-4 |
| Hochschulschrift | Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2016 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-197160 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Vibrationssensor ; Fertigung ; Wafer ; Silicium ; Mikroschweißen |
| DDC-Notation | 681.25 [DDC22ger]; 671.52 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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