Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/980142938 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Untersuchung der Relaxation elastischer Spannungen durch Helium-Implantation und thermische Behandlung in Si1-xGex/Si-Heterostrukturen / vorgelegt von Norbert Hüging |
Person(en) | Hüging, Norbert (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 60,4 MB |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Hüging, Norbert: Untersuchung der Relaxation elastischer Spannungen durch Helium-Implantation und thermische Behandlung in Si1-xGex/Si-Heterostrukturen |
Hochschulschrift | Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-15295 |
URL |
http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus/volltexte/2006/1529/pdf/Hueging_Norbert.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus/volltexte/2006/1529/index.html=x |
DDC-Notation | 537.2662 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
