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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1081996838
Art des Inhalts	Hochschulschrift
Titel	Characterization and reliability testing of thin-film materials for robust MEMS sensors / Radoslav Rusanov
Person(en)	Rusanov, Radoslav (Verfasser)
Organisation(en)	Shaker Verlag (Verlag)
Ausgabe	[1. Auflage]
Verlag	Aachen : Shaker Verlag
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2016
Umfang/Format	xxix, 249 Seiten : Illustrationen ; 21 cm, 425 g
Hochschulschrift	Dissertation, Karlsruher Institut für Technologie, 2015
ISBN/Einband/Preis	978-3-8440-4260-3 Broschur : EUR 49.80 (AT), sfr 62.30 (freier Preis), EUR 49.80 (DE) 3-8440-4260-1
EAN	9783844042603
Sprache(n)	Englisch (eng)
Beziehungen	Berichte aus der Mikrosystemtechnik
Schlagwörter	MEMS ; Sensor ; Siliciumdioxid ; PECVD-Verfahren ; Dünne Schicht ; Wärmeleitfähigkeit ; Wärmekapazität MEMS ; Sensor ; Siliciumcarbid ; LPCVD-Verfahren ; Dünne Schicht ; Elektrische Eigenschaft ; Mechanische Eigenschaft Sensor ; MEMS ; Dünne Schicht ; Zuverlässigkeit
DDC-Notation	681.2 [DDC22ger]
Sachgruppe(n)	670 Industrielle und handwerkliche Fertigung
Weiterführende Informationen	Inhaltsverzeichnis

Frankfurt	Signatur: 2016 A 20284 Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig	Signatur: 2016 A 38533 Bereitstellung in Leipzig

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