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Titel Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhältnis und grosser Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren) / Kernforschungszentrum Karlsruhe, Inst. für Kernverfahrenstechnik. Von E. W. Becker ...
Person(en) Becker, Erwin W. (Verfasser)
Organisation(en) Institut für Kernverfahrenstechnik (Karlsruhe) (Herausgebendes Organ)
Verlag Karlsruhe : Kernforschungszentrum
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1985
Umfang/Format 33 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
ISBN/Einband/Preis kart. (Pr. nicht mitget.)
Identifikationsnummern Reportnummer: KfK 3995
Anmerkungen Als Ms. vervielfältigt
Status nach VGG: vergriffen
Sachgruppe(n) 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien

Frankfurt Signatur: DKb 85/5179
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: SB 7121-3995
Bereitstellung in Leipzig




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