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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-Lithographie / vorgelegt von Harald Gross
Person(en) Gross, Harald (Verfasser)
Verlag Berlin : Logos-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1999
Umfang/Format III, 86 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Zugl.: Tübingen, Univ., Diss., 1999
ISBN/Einband/Preis 978-3-89722-221-2 kart. : DM 69.00, sfr 62.79, S 503.67
3-89722-221-3 kart. : DM 69.00, sfr 62.79, S 503.67
Schlagwörter Array ; Elektronenoptik ; Miniaturisierung ; Elektronenstrahllithografie
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 1999 A 29394
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 1999 A 29394
Bereitstellung in Leipzig




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