Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1019935537 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Serielles Co-Sputtern : Ein innovatives Beschichtungsverfahren zur Herstellung funktioneller, mehrkomponentiger Dünnschichten / Michael Austgen |
| Person(en) | Austgen, Michael (Verfasser) |
| Ausgabe | neue Ausg. |
| Verlag | Saarbrücken : Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201202203988 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8381-3083-5 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig. - Vom Verlag als Druckwerk on demand angeboten |
| Schlagwörter | Reaktives Sputtern |
| DDC-Notation | 530.417 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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