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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/949231134 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Röntgenographische Untersuchungen über die thermische Stabilität von Struktur und Eigenspannungen gesputterter PVD-Schichten und deren Einfluss auf die mechanischen und tribologischen Eigenschaften / Werner Herr |
| Person(en) | Herr, Werner (Verfasser) |
| Ausgabe | Als Ms. gedr. |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1997 |
| Umfang/Format | IV, 152 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1996 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8265-2058-7 kart. : DM 94.00, sfr 99.00, S 659.00 3-8265-2058-0 kart. : DM 94.00, sfr 99.00, S 659.00 |
| Beziehungen | Berichte aus der Werkstofftechnik |
| Schlagwörter |
Sputtern ; Schutzschicht ; Verschleißschutz ; Stoffeigenschaft ; Hochtemperatur ; Kennzahl Sputtern ; Prozessoptimierung ; Qualitätssicherung ; Dünne Schicht ; Röntgendiffraktometrie |
| Sachgruppe(n) | 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 35 Technik allgemein ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 1997 A 5038
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 1997 A 5038
Bereitstellung in Leipzig |
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