Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. Die Ausstellungen des Deutschen Exilarchivs 1933-1945 sind von 9 bis 21:30 Uhr geöffnet. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing will open from 10:00 to 18:00. The exhibitions of the German Exile Archive 1933–1945 will be open from 9:00 to 21:30.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Phase formation and size effects in nanoscale silicide layers for the sub-100 nm microprocessor technology / Jochen Rinderknecht
Person(en) Rinderknecht, Jochen (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2005
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 16,4 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Rinderknecht, Jochen: Phase formation and size effects in nanoscale silicide layers for the sub-100 nm microprocessor technology
Hochschulschrift Dresden, Techn. Univ., Diss., 2005
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:14-1126002535643-34479
URL http://hsss.slub-dresden.de/pub2/dissertation/2005/maschinenwesen/1126002535643-3447/1126002535643-3447.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://hsss.slub-dresden.de/hsss/servlet/hsss.urlmapping.MappingServlet?id=1126002535643-3447 (Verlag)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter CMOS ; Dünne Schicht ; Mikroprozessor ; Schichtdicke ; Silicide
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]; 546.6832 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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