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Titel Multicomponent Physical Vapor Deposited Films with Homogeneous Molecular Material Distribution Featuring Improved Resist Sensitivity
Person(en) Kolb, Tristan (Verfasser)
Neuber, Christian (Verfasser)
Krysak, Marie (Verfasser)
Ober, Christopher K. (Verfasser)
Schmidt, Hans‐Werner (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2023022316331564408395
DOI: 10.1002/adfm.201103130
URL https://doi.org/10.1002/adfm.201103130
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 25.05.2012
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced functional materials (Bd. 22, 2012, Nr. 18: 3865-3873. 9 S.)

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