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Neuigkeiten Die Lesesäle für Geisteswissenschaften, Naturwissenschaften, der Alte Lesesaal Technik und der Anne-Frank-Shoah-Lesesaal in Leipzig schließen am 04.02.2026 wegen einer Veranstaltung bereits um 15 Uhr. Die weiteren Lesesäle sowie die Servicetheke sind zu den regulären Zeiten geöffnet. //
The humanities reading room, the natural science reading room, the old technology reading room and the reading room of the Anne-Frank-Shoah-Library will close at 15:00 on 4 February 2026 due to an event. The other reading rooms and the service desk will be open during regular hours.
 
 

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Online Ressourcen
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik / Marco Feldmann ; Betreuer: Stephanus Büttgenbach
Person(en) Feldmann, Marco (Verfasser)
Büttgenbach, Stephanus (Akademischer Betreuer)
Verlag Braunschweig : Technische Universität Braunschweig
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2019
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, Braunschweig, Technische Universität Braunschweig, 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:084-2019012213580
DOI: 10.24355/dbbs.084-201901221357-0
URL https://publikationsserver.tu-braunschweig.de/receive/dbbs_mods_00066223 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Publications Institute of Microtechnology IMT ; 20
Anmerkungen In: Aachen : Shaker
Schlagwörter LIGA-Verfahren ; Photoresist ; Ultraviolett
Mikroaktor ; Herstellung ; LIGA-Verfahren
Mikrosensor ; Herstellung ; LIGA-Verfahren
Mikrofluidik ; Gerätebau ; LIGA-Verfahren
DDC-Notation 681 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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