Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=519*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/986233846 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Optimierung des chemisch-mechanischen Polierens von Siliziumwafern mittels stochastischer Modelle / vorgelegt von Susanne Wiegand |
| Person(en) | Wiegand, Susanne (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | IV, 160, XXIX Bl. : Ill., graph. Darst. ; 31 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Wiegand, Susanne: Optimierung des chemisch-mechanischen Polierens von Siliziumwafern mittels stochastischer Modelle |
| Hochschulschrift | Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2007 (Nicht für den Austausch) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| DDC-Notation | 519.23 [DDC22ger]; 660.2977 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 510 Mathematik ; 660 Technische Chemie |
| Frankfurt |
Signatur: 2007 B 28207 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2007 B 34081 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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