Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/985785799 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors / von Ahmed Tamim |
| Person(en) | Tamim, Ahmed (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 3,3 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Low pressure chemical vapor deposition of silicon nitride and silicon oxynitride layers and their application in optical waveguide based chemical sensors |
| Hochschulschrift | Paderborn, Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:466-2007091835 |
| URL |
http://ubdata.uni-paderborn.de/ediss/14/2007/tamim/disserta.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://ubdata.uni-paderborn.de/ediss/14/2007/tamim/ (Verlag) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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