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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1166511251
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase / Felix Petri
Person(en) Petri, Felix (Verfasser)
Ausgabe 1. Auflage
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, 139 Seiten : 4 Illustrationen, 52 Illustrationen (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Petri, Felix: Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase
Hochschulschrift Dissertation, Universität Bremen, 2006
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2018090906445736562112
ISBN/Einband/Preis 978-3-8322-6354-6
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Berichte aus der Mikromechanik
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Drehratensensor ; Vakuumsensor ; MEMS ; Quetschströmung ; Mathematisches Modell
Heißdrahtverfahren ; Sensor ; MEMS ; Vakuum ; Wärmeübertragung ; Mathematisches Modell
DDC-Notation 681.2 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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