Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1166511251 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase / Felix Petri |
Person(en) | Petri, Felix (Verfasser) |
Ausgabe | 1. Auflage |
Verlag | Aachen : Shaker |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
Umfang/Format | Online-Ressource, 139 Seiten : 4 Illustrationen, 52 Illustrationen (pdf) |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Petri, Felix: Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase |
Hochschulschrift | Dissertation, Universität Bremen, 2006 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2018090906445736562112 |
ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-6354-6 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Beziehungen | Berichte aus der Mikromechanik |
Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
Schlagwörter |
Drehratensensor ; Vakuumsensor ; MEMS ; Quetschströmung ; Mathematisches Modell Heißdrahtverfahren ; Sensor ; MEMS ; Vakuum ; Wärmeübertragung ; Mathematisches Modell |
DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
