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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1101601434 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Gesputterte, elektrisch isolierende Schichten für Dünnschichtsensoren auf metallischen Grundkörpern / Frank Schmaljohann ; Herausgeber: Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig und Berlin, Presse und Öffentlichkeitsarbeit |
| Person(en) | Schmaljohann, Frank (Verfasser) |
| Organisation(en) | Wirtschaftsverlag N.W. Verlag für Neue Wissenschaft (Verlag) |
| Ausgabe | [1. Auflage] |
| Verlag | Braunschweig : Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
| Vertrieb | Bremen : Fachverlag NW |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: Dezember 2015 |
| Umfang/Format | 137 Seiten : Illustrationen ; 30 cm, 484 g |
| Hochschulschrift | Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2015 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-95606-233-9 Broschur : EUR 19.00 (DE), EUR 19.60 (AT) 3-95606-233-7 |
| Bestellnummer(n) | Bestellnummer: PTB F-56 |
| EAN | 9783956062339 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | PTB-Bericht / F / Fertigungsmesstechnik ; 56 |
| Schlagwörter | Dünnschichtsensor ; Metallischer Werkstoff ; Magnetronsputtern ; Elektrische Isolierung ; Dünne Schicht ; Nanometerbereich ; Gitterbaufehler ; Substrat <Mikroelektronik> ; Schichtdicke ; Probekörper <Werkstoffprüfung> |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger]; 671.735 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2017 B 22355
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2017 B 23722
Bereitstellung in Leipzig |
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