Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten

Leichte Bedienung, intuitive Suche: Die Betaversion unseres neuen Katalogs ist online! → Zur Betaversion des neuen DNB-Katalogs

 
Neuigkeiten 24. Dezember 2025 bis 1. Januar 2026: Die Deutsche Nationalbibliothek bleibt an beiden Standorten geschlossen. // 24 December 2025 to 1 January 2026: The German National Library will be closed at both locations.
 
 

Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*

Zurück zur Trefferliste


Treffer 8 von 32 < < > <



Medienkombinationen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1142276813
Art des Inhalts Konferenzschrift, 2017, Löwen
Titel ICPT 2017 : International Conference on Planarization/CMP Technology : October, 11-13, 2017, Leuven, Belgium / conference chairs: Patrick Ong, IMEC, Leuven, Belgium, Gerfried Zwicker, Fraunhofer Institute for Silicon Technology ISIT, Itzehoe, Germany
Person(en) Ong, Patrick (Herausgeber)
Organisation(en) ICPT (Veranstaltung : 2017 : Löwen) (Verfasser)
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Herausgebendes Organ)
VDE Verlag (Verlag)
Verlag Berlin : VDE VERLAG GMBH
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2017]
ISBN/Einband/Preis 978-3-8007-4462-6 : EUR 197.00 (DE), EUR 202.60 (AT)
3-8007-4462-7
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Chemisch-mechanisches Polieren
DDC-Notation 671.72 [DDC22ger]; 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik
Zugehörige Bände 2 Publikationen
  1. ICPT 2017 / [Band]
    [2017]
  2. ICPT 2017 / [CD-ROM]
    [2017]





Treffer 8 von 32
< < > <




Aktionen

Aktionen





E-Mail-IconAdministration