Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: swiRef=042609976
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/961405805 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen / von: Matthias Schulze |
| Person(en) | Schulze, Matthias (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2001 |
| Umfang/Format | 138 Bl. in getr. Zählung : graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Schulze, Matthias: Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen |
| Hochschulschrift | Magdeburg, Univ., Diss., 2001 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Magnetronsputtern ; Titan ; Titandioxid ; Glimmentladung ; Plasmadiagnostik ; Emissionsspektroskopie |
| Sachgruppe(n) | 29 Physik, Astronomie |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: H 2001 B 2173 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: H 2001 B 2173 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |

