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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/976835401
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Plasmapolymerisierte Barriereschichten aus einer skalierbaren Mikrowellen-Plasmaquelle für flexible Solarzellenmodule / vorgelegt von Andreas Schulz
Person(en) Schulz, Andreas (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2005
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 7,9 MB
Hochschulschrift Stuttgart, Univ., Diss., 2005
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-23844
URL http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2005/2384/pdf/Diss_Schulz_05.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2005/2384/ (Verlag)
Schlagwörter Plasmatechnik ; Plasmaanlage ; Mikrowellenplasma ; PECVD-Verfahren ; Plasmaerzeugung ; Solarzelle ; Diffusionsbarriere ; Elektrische Isolierung
DDC-Notation 621.31244 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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