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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/941950980
Titel Anwendung des feinfokussierten Ionenstrahles zur Fertigung mikromechanischer Bauelemente / Forschungszentrum Rossendorf e.V. L. Bischoff ...
Person(en) Bischoff, Lothar (Mitwirkender)
Organisation(en) Forschungszentrum Rossendorf (Herausgebendes Organ)
Verlag Dresden : FZR
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1994
Umfang/Format 29 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Anwendung des feinfokussierten Ionenstrahles zur Fertigung mikromechanischer Bauelemente
ISBN/Einband/Preis kart.
Identifikationsnummern Reportnummer: FZR 94 31
Anmerkungen Status nach VGG: vergriffen
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 1994 B 18214
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 1994 B 18214
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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