Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1323960481
Titel Equilibrium dopant incorporation in CVD silicon epitaxy
Person(en) Kühne, H. (Verfasser)
Morgenstern, Th. (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2024032004041555852114
DOI: 10.1002/crat.2170240103
URL https://doi.org/10.1002/crat.2170240103
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 19.02.2006
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Crystal research and technology (Bd. 24, 2006, Nr. 1: 13-19. 7 S.)

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