Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: morgenstern
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1326047086 |
Titel | Temperature dependence of doping element incorporation with the chemical vapour deposition epitaxial silicon (VI) SiH 4 HCl PH 3 H 2 system |
Person(en) |
Kühne, H. (Verfasser) Sperling, R. (Verfasser) Morgenstern, Th. (Verfasser) |
Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2024041306502319865937 DOI: 10.1002/crat.19800150909 |
URL | https://doi.org/10.1002/crat.19800150909 |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 27.03.2006 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | Enthalten in: Crystal research and technology (Bd. 15, 2006, Nr. 9: 1051-1058. 8 S.) |
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