Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/106815263X |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Selektive Si1-xCx-Epitaxie für den Einsatz in der CMOS-Technologie / Ina Ostermay. Gutachter: Johann W. Bartha ; H. Jörg Osten. Betreuer: Johann W. Bartha |
Person(en) |
Ostermay, Ina (Verfasser) Bartha, Johann W. (Akademischer Betreuer) Osten, H. Jörg (Akademischer Betreuer) |
Verlag | Dresden : Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden - Dresden : Technische Universität Dresden |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2013 |
Umfang/Format | Online-Ressource |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Ostermay, Ina: Selektive Si1-xCx-Epitaxie für den Einsatz in der CMOS-Technologie |
Hochschulschrift | Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2013 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-114059 |
URL | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-114059 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | Epitaxie* ; CMOS-Schaltung* ; Transistor* ; Drain <Elektronik>* ; MOS* (*maschinell ermittelt) |
DDC-Notation | 621.381528 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
