Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Online Ressourcen
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Grundlagen und Anwendungsmoeglichkeiten der LIGA-Technik in der Mikrooptik / Jost Göttert, J. Mohr
Person(en) Göttert, Jost (Verfasser)
Mohr, Jürgen (Verfasser)
Verlag Karlsruhe : KIT-Bibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1992
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Karlsruhe, Universität Karlsruhe, 1992, Dissertation von J. Göttert
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA1436920
URL http://digbib.ubka.uni-karlsruhe.de/volltexte/143692 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen KfK-Berichte ; 5153
Schlagwörter Mikrooptik* ; LIGA-Verfahren* ; Seitenwand* ; Röntgentiefenlithographie* ; Koppelelement* ; Mikroelektronik* ; Chip* (*maschinell ermittelt)

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