Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/962266213 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung / Thomas Schafbauer |
| Person(en) | Schafbauer, Thomas (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2001 |
| Umfang/Format | 146 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Schafbauer, Thomas: Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung |
| Hochschulschrift | München, Techn. Univ., Diss., 2001 (Nicht für den Austausch) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Rapid thermal processing ; Halbleitertechnologie ; Siliciumbauelement ; Prozessregelung ; Prozessoptimierung |
| Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: H 2001 B 4580 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: H 2001 B 4580 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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