Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1280272015 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | An investigation of target poisoning during reactive magnetron sputtering |
| Person(en) | Güttler, Dominik (Verfasser) |
| Verlag | Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Persistent Identifier | DOI: 10.34657/4838 |
| URL | https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/1301 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen |
In: Wissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf, Volume 515, ISSN 1437-322X Datenlieferant: Renate - Repositorium für Naturwissenschaften und Technik (TIB Hannover) |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |

