Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/953838048 |
| Art des Inhalts | Konferenzschrift, 1997, München |
| Titel | Proceedings HLF : semiconductor equipment and materials, contamination control and defect reduction ; Munich, Germany, November 11 - 12, 1997 / Productronica 97. Ed. by Heiner Ryssel ... |
| Person(en) | Ryssel, Heiner (Herausgeber) |
| Organisation(en) | Productronica (1997 : München) (Herausgebendes Organ) |
| Verlag | Stuttgart : Fraunhofer-IRB-Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1998 |
| Umfang/Format | 223 S. : zahlr. Ill. und graph. Darst. ; 21 cm |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen | Literaturangaben |
| Schlagwörter |
Halbleitertechnologie ; Fertigungsfehler ; Prozessoptimierung ; Kongress ; München <1997> Halbleitertechnologie ; Kontamination ; Prozessoptimierung ; Kongress ; München <1997> |
| Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 1998 A 31103
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 1998 A 31103
Bereitstellung in Leipzig |
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