PECVD and PEALD on polymer substrates (part II): Understanding and tuning of barrier and membrane properties of thin films

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1311501487
Titel	PECVD and PEALD on polymer substrates (part II): Understanding and tuning of barrier and membrane properties of thin films
Person(en)	de los Arcos, Teresa (Verfasser) Awakowicz, Peter (Verfasser) Böke, Marc (Verfasser) Boysen, Nils (Verfasser) Brinkmann, Ralf Peter (Verfasser) Dahlmann, Rainer (Verfasser) Devi, Anjana (Verfasser) Eremin, Denis (Verfasser) Franke, Jonas (Verfasser) Gergs, Tobias (Verfasser) Jenderny, Jonathan (Verfasser) Kemaneci, Efe (Verfasser) Kühne, Thomas D. (Verfasser) Kusmierz, Simon (Verfasser) Mussenbrock, Thomas (Verfasser) Rubner, Jens (Verfasser) Trieschmann, Jan (Verfasser) Wessling, Matthias (Verfasser) Xie, Xiaofan (Verfasser) Zanders, David (Verfasser) Zysk, Frederik (Verfasser) Grundmeier, Guido (Verfasser)
Umfang/Format	Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:101:1-2023112815060471069626 DOI: 10.1002/ppap.202300186
URL	https://doi.org/10.1002/ppap.202300186
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 27.11.2023
Sprache(n)	Englisch (eng)
Beziehungen	Enthalten in: Plasma processes and polymers (27.11.2023. 26 S.)

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