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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1280366842
Titel On the relationship between SiF4plasma species and sample properties in ultra low-k etching processes
Person(en) Haase, Micha (Verfasser)
Melzer, Marcel (Verfasser)
Lang, Norbert (Verfasser)
Ecke, Ramona (Verfasser)
Zimmermann, Sven (Verfasser)
van Helden, Jean-Pierre H. (Verfasser)
Schulz, Stefan E. (Verfasser)
Verlag New York, NY : American Inst. of Physics
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2020
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier DOI: 10.34657/5696
URL https://oa.tib.eu/renate/handle/123456789/6649 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: AIP Advances 10 (2020), Nr. 6
Datenlieferant: Renate - Repositorium für Naturwissenschaften und Technik (TIB Hannover)
Sachgruppe(n) 530 Physik





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