Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1212365828 |
| Titel | Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik / Thomas Wächtler ; Gutachter: Thomas Geßner ; Stefan E. Schulz, Ramona Ecke |
| Person(en) |
Wächtler, Thomas (Verfasser) Schulz, Stefan E. (Akademischer Betreuer) Ecke, Ramona (Akademischer Betreuer) Geßner, Thomas (Gutachter) |
| Verlag | Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz - Chemnitz : München : GRIN Verlag |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2005 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) |
Erscheint auch als: ISBN: 3-638-94911-7 Erscheint auch als: ISBN: 978-3-638-94911-8 |
| Hochschulschrift | Diplomarbeit, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:swb:ch1-200501596 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
CVD-Verfahren ; Kupfer Metallisieren* ; CVD-Verfahren* ; Kupfer* ; Beschichten* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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