Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: swiRef=042609976
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/101595247X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Simulative und plasmadiagnostische Untersuchungen des Magnetron Sputterns / Daniel Parkot |
| Person(en) | Parkot, Daniel (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | XVI, 158 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 263 g |
| Hochschulschrift | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-0390-1 kart. : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), sfr 97.60 (freier Pr.) |
| EAN | 9783844003901 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Schriftenreihe Oberflächentechnik ; Bd. 21 |
| Schlagwörter | Magnetronsputtern ; Prozessanalyse ; Plasmadiagnostik ; Prozesssimulation |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2011 A 75136
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2011 A 94404
Bereitstellung in Leipzig |

