Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1019653906 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner / Joachim Fritz |
| Person(en) | Fritz, Joachim (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | 143 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 215 g |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner |
| Hochschulschrift | Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2012 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-0828-9 kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60 (freier Pr.) |
| EAN | 9783844008289 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 21 |
| Schlagwörter | MEMS ; Mikrooptik ; Scanner ; Mikroaktor ; Kammantrieb ; Drehmomentregelung ; SOI-Technik ; Geräteentwicklung ; Herstellung |
| DDC-Notation | 621.381045 [DDC22ger]; 681.41 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2012 A 32637 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2012 A 40698 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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