Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/992515955 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mesoscopic and continuous photoresist development simulation / von Alexander Philippou |
| Person(en) | Philippou, Alexander (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 4,1 MB |
| Hochschulschrift | Berlin, Techn. Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:kobv:83-opus-17586 |
| URL |
http://opus.kobv.de/tuberlin/volltexte/2009/1758/pdf/philippou_alexander.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://opus.kobv.de/tuberlin/volltexte/2009/1758/ (Verlag) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| DDC-Notation | 530.13 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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