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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb / Richard Schroedter ; Gutachter: Klaus Janschek, Georg Schitter
Person(en) Schroedter, Richard (Verfasser)
Janschek, Klaus (Gutachter)
Schitter, Georg (Gutachter)
Verlag Dresden : Vogt Verlag - Dresden : Technische Universität Dresden
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2023
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Dissertation, Dresden, Technische Universität Dresden, 2018
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-882591
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter MEMS ; Spiegelsystem ; Scanner ; Mikroaktor ; Kammantrieb ; Positionsgeber ; Reglerentwurf ; Repetitive control ; Systementwurf
DDC-Notation 621.381045 [DDC23ger]; 681.41 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung

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