Herstellung und Analyse thermisch oxidierter SOI-Nanowires

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1063996228
Art des Inhalts	Hochschulschrift
Titel	Herstellung und Analyse thermisch oxidierter SOI-Nanowires / Oliver Horn. Betreuer: Jörg Müller
Person(en)	Horn, Oliver (Verfasser) Müller, Jörg (Akademischer Betreuer)
Verlag	Hamburg-Harburg : Universitätsbibliothek der Technischen Universität Hamburg-Harburg
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format	Online-Ressource
Hochschulschrift	Hamburg-Harburg, Technische Universität, Diss., 2012
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:gbv:830-tubdok-13089
URL	http://doku.b.tu-harburg.de/volltexte/2014/1308 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n)	Deutsch (ger)
Schlagwörter	Wellenleiter* ; Herstellung* ; Photonik* ; Ätzen* ; Kontaktlithografie* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n)	620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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