Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/981938353 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Dreidimensionale Topographiesimulation der ionisierten Metallplasma-Abscheidung in der Halbleitertechnologie / vorgelegt von Siegbert Kistler |
| Person(en) | Kistler, Siegbert (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 3,6 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Kistler, Siegbert: Dreidimensionale Topographiesimulation der ionisierten Metallplasma-Abscheidung in der Halbleitertechnologie |
| Hochschulschrift | Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-4600 |
| URL |
http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/460/pdf/SiegbertKistlerDissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2006/460/index.html (Verlag) |
| Schlagwörter | Beschichten ; Computersimulation ; Metallisieren ; Winkelverteilung ; Abscheidung ; Hochfrequenzsputtern ; Sputtern ; Zerstäubung ; Dünnes Plasma ; Ho |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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