Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/983916861 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Cu(Ag)-Legierungsschichten als Werkstoff für Leiterbahnen höchstintegrierter Schaltkreise : Herstellung, Gefüge, thermomechanische Eigenschaften, Elektromigrationsresistenz / Steffen Strehle |
| Person(en) | Strehle, Steffen (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 60,4 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Strehle, Steffen: Cu(Ag)-Legierungsschichten als Werkstoff für Leiterbahnen höchstintegrierter Schaltkreise |
| Hochschulschrift | Dresden, Techn. Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:swb:14-1175691002696-74744 |
| URL |
http://hsss.slub-dresden.de/documents/1175691002696-7474/1175691002696-7474.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://hsss.slub-dresden.de/deds-access/hsss.urlmapping.MappingServlet?id=1175691002696-7474 (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | VLSI ; Integrierte Schaltung ; Dünne Schicht ; Kupferlegierung ; Silberlegierung ; Leiterbahn |
| DDC-Notation | 621.3950284 [DDC22ger]; 620.18297 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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