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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1027027539 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Herstellung funktioneller Dünnschichtelemente auf den Stirnflächen von Lichtleitfasern mittels hochauflösender lithografischer Strukturierungsverfahren / Uta Jauernig |
| Person(en) | Jauernig, Uta (Verfasser) |
| Verlag | Ilmenau : Univ.-Verl. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | 160 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 200 g |
| Hochschulschrift | Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2012 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-86360-030-3 kart. : EUR 21.80 (DE), EUR 22.50 (AT) |
| EAN | 9783863600303 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Anmerkungen | Zusätzliches Online-Angebot unter urn:nbn:de:gbv:ilm1-2012000088 |
| Schlagwörter | Lichtleitfaser ; Dünnschichttechnik ; Diffraktives optisches Element ; Lithografie <Halbleitertechnologie> ; Photoresist ; Chalkogenidglas ; Wafer |
| DDC-Notation | 621.381531 [DDC22ger]; 621.369 [DDC22ger]; 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Weiterführende Informationen |
Inhaltsverzeichnis Inhaltstext |
| Frankfurt |
Signatur: 2012 A 74525
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2012 A 97129
Bereitstellung in Leipzig |
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