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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1292122846
Titel Optimizing the plasma oxidation of aluminum gate electrodes for ultrathin gate oxides in organic transistors / Michael Geiger, Marion Hagel, Thomas Reindl, Jürgen Weis, R. Thomas Weitz, Helena Solodenko, Guido Schmitz, Ute Zschieschang, Hagen Klauk, Rachana Acharya
Person(en) Geiger, Michael (Verfasser)
Hagel, Marion (Verfasser)
Reindl, Thomas (Verfasser)
Weis, Jürgen (Verfasser)
Weitz, R. Thomas (Verfasser)
Solodenko, Helena (Verfasser)
Schmitz, Guido (Verfasser)
Zschieschang, Ute (Verfasser)
Klauk, Hagen (Verfasser)
Acharya, Rachana (Verfasser)
Verlag Stuttgart : Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-130763
DOI: 10.18419/opus-13057
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Scientific reports 11 (2021), No. 6382
DDC-Notation 621.484 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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