Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: cod="ro"
Treffer 98931 von 252670
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1240766041 |
| Titel | Role of electron and ion irradiation in a reliable lift-off process with electron beam evaporation and a bilayer PMMA resist system / Bin Sun, Thomas Grap, Thorben Frahm, Stefan Scholz, Joachim Knoch |
| Person(en) |
Sun, Bin (Verfasser) Grap, Thomas (Verfasser) Frahm, Thorben (Verfasser) Scholz, Stefan (Verfasser) Knoch, Joachim (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2021090807521484229704 DOI: 10.18154/RWTH-2021-07816 |
| URL | https://publications.rwth-aachen.de/record/824779 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen | In: 10.1116/6.0001161 |
| DDC-Notation | 539.73 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
Treffer 98931 von 252670
Administration
