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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/124448668X
Titel Shape deviations of DLW microstructures in dependency of fabrication parameters / Sven Fritzsche, Ievgenia Topolniak, Matthias Weise, Heinz Sturm
Person(en) Fritzsche, Sven (Verfasser)
Topolniak, Ievgenia (Verfasser)
Weise, Matthias (Verfasser)
Sturm, Heinz (Verfasser)
Verlag Berlin : Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2021
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:kobv:b43-535906
DOI: 10.1088/1361-6439/ac2a14
URL (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Anmerkungen In: Journal of Micromechanics and Microengineering, 31, 12, S. 1-8
DDC-Notation 537.623 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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