Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/124448668X |
Titel | Shape deviations of DLW microstructures in dependency of fabrication parameters / Sven Fritzsche, Ievgenia Topolniak, Matthias Weise, Heinz Sturm |
Person(en) |
Fritzsche, Sven (Verfasser) Topolniak, Ievgenia (Verfasser) Weise, Matthias (Verfasser) Sturm, Heinz (Verfasser) |
Verlag | Berlin : Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:kobv:b43-535906 DOI: 10.1088/1361-6439/ac2a14 |
URL | (kostenfrei zugänglich) |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Anmerkungen | In: Journal of Micromechanics and Microengineering, 31, 12, S. 1-8 |
DDC-Notation | 537.623 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
