Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1209878550 |
| Titel | Automated parameter extraction of ScAlN MEMS devices using an extended Euler-Bernoulli beam theory / Maximilian Krey, Bernd Hähnlein, Katja Tonisch, Stefan Krischok, Hannes Töpfer |
| Person(en) |
Krey, Maximilian (Verfasser) Hähnlein, Bernd (Verfasser) Tonisch, Katja (Verfasser) Krischok, Stefan (Verfasser) Töpfer, Hannes (Verfasser) |
| Verlag | Ilmenau : TU Ilmenau |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2020 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2020051103170475156977 DOI: 10.3390/s20041001 |
| URL | https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00040935 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen | In: Sensors(20, 2020), H. 4 |
| DDC-Notation | 681.2 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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